德州凈化工程-潔凈室內的環境如何保持？

 對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運作功能，因此微污染源已成為潔凈室管理的重要環節。微污染防控，其基本原則有四：

      1、外部塵埃侵入之防止

潔凈室適當之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設備、原材料搬入潔凈室前先做好清潔擦拭等防塵動作，空氣過濾器適當的管理和設置。

      2、室內發塵之防止

隔間板、地板等潔凈室材料的適當選用、制程設備的發塵、生產自動化及人員不聚集、動作放松、潔凈衣的管理、使用潔凈室容器等。

      3、室內發塵之不積留

墻壁體應光滑無死角、潔凈室需定期保養和清掃、制程設備四周應留有空間。

     4、發生塵埃之排除

換氣次數應足夠，適當的空間布置以及污染源接排氣和空調的氣流速度須適當。人、物入室的管理問題、實際的作業條件和工程管理關聯之問題、室內之空調及清掃關系之問題。